摘要： 介绍了一种在玻璃基板上切割 v 型槽并对 v 型槽纤芯距 进行高精度测量的光纤偏振光干涉仪，该系统包括光源、偏振器、偏振控制器、波片、自聚焦透镜和探测器组成，并对这种光纤传感器原理进行分析。其理论上其测量精度可达到 0.01nm ，很好地解决了实际生产中高精度的非接触在线检测，并满足了光通信行业对 v 型槽纤芯距的实际要求 。

关键词 ： 迈克尔逊干涉仪 ；光纤偏振干涉仪 ； 光源； 玻璃基板； v 型槽

abstract: an optical fiber polarized-light interferometer for high precise measurement of v-groove core pitch was designed and the optical fiber sensor theory was analyzed. the system including on power, polarimeter, polarization controller, wave plate, self-focus lens and detector. the accuracy of this method is 0.01 nm in theory; it is suitable for online non-contact measurement and monitor in production process.

keywords: michelson interferometer, fiber polarized-light interferometer, power, glass substrate, v-groove

引言

在光通信纤维阵列用玻璃基板上刻高精度 v 型槽（通用型槽间距即纤芯距为 127 ± 0.5um 和 250 ± 0.5um ）的关键技术被日韩等少数国家垄断，国内使用的光纤阵列用 v 型 槽基板均需要依靠进口，价格昂贵，严重制约了我国光纤到户（ ftth ）工程的进程。而光通信纤维阵列用 v 型槽基板是光纤到户工程中必不可少的光器件，主要用于对光纤精确定位生产各种衔接 光纤干线与家 用光纤之间的信号传输的光器件。

日本在光通信纤维阵列用 v 型 槽基板的加工设备开发上起步较早，也具有较为成熟的技术方案。目前，日本等国家生产光通信纤维阵列用 v 型 基板全部采用高精度的专用切割机，而此类设备日本等发达国家对我国实施禁运，国内部分 企业 与机构也曾尝试对此方面进行研究，皆因为技术难度较高，而最终以失败告终，因此在国内尚属于空白。

在先进的生产制造过程中 ，非接触的 在线检测发挥着越来越重要的作用。在线检测的对象在被测过程中是不断变化着的 ， 因此对检测传感器不仅要求其精度高、稳定可靠、有良好的动态性能、能对快速信号实时响应监控 ， 而且一般要非接触式测量 ， 并便于安装。

本文提出一种新型的光纤偏振光干涉仪 ， 它将偏振光干涉技术和光纤传感技术相结合 ， 能对玻璃基板 v 型槽的纤芯距进行高精度的在线检测的非接触测量。

1，   实验原理设计